管式爐具有操作簡單、保溫效果好、控溫精度高、溫度范圍大以及可通氣氛等特點,主要應用于院校實驗室、工礦企業(yè)實驗室,應用于高、中、低溫CVD工藝,如碳納米管的研制,晶體硅基板鍍膜,金屬材料擴散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。
在使用過程中,因操作不當的因素,很容易導致設備出現真空度不高的情況,從而影響設備的使用效率,無法達到使用標準,對此,我們應該如何進行抽真空操作,從而保證設備的使用。
然而為了節(jié)約成本,我們根據抽真空的目的是排除氧氣,我們可以向管式爐內部充入氮氣、氬氣等惰性氣體,降低氧氣濃度從而達到實驗材料不會出現氧化還原現象,操作步驟如下:
1、首先,我們將接上真空泵和氮氣瓶,然后將所有閥門關閉,打開真空泵和真空閥門,觀察壓力表等到真空泵真空度穩(wěn)定后,關閉真空閥門和真空泵;
2、然后打開氣瓶打開進氣閥門,等到壓力表恢復常壓后,關閉進氣閥門;
3、此時爐內空氣濃度降低,但空氣仍有殘留,我們重復上述步驟,即可得到更高純度的氮氣從而排除空氣,如需更高純度的實驗可多次重復上述步驟。注意打開和關閉泵閥氣瓶順序。
部分實驗室管式爐需要在真空內實驗,真空泵度很高,但是達不到實驗要求,可能是抽完真空后直接關閉真空泵沒有關閉真空閥門,因為真空泵不工作狀態(tài)會回流空氣,從而導致空氣進入爐管內,我們只需在抽完真空后先關閉真空閥門即可解決此類問題。